从黏性流到分子流:气体在高压、常压与真空下怎样流动
一根管道接在压缩空气储罐上,气体沿压差流向出口。把它接到真空腔体与泵之间,气体也会从压力较高的一端流向较低的一端。两种情况看起来相似,计算方法却可能完全不同:前者通常需要考虑黏性、湍流或可压缩效应,后者在足够低的压力下,要计算分子撞壁后穿过管道的概率。
改变计算方法的原因,在于分子之间的碰撞是否足以维持局部平衡,以及这种平衡在壁面附近还能保持到什么程度。同一套装置从大气开始抽气,便可能依次经历无滑移黏性流、滑移流、过渡流和分子流。压力在变,适用的方程与边界条件也随之改变。
本文的主线不是某一本真空手册,而是流体力学与气体动理论之间的模型衔接。连续流部分以守恒定律、牛顿本构关系和可压缩流理论为基础;滑移和过渡流部分参照 Maxwell 的原始边界思想、Cercignani 与 Kogan 的稀薄气体理论,以及 Sharipov 对内流问题的综述;分子流部分采用 Bird 的分子气体动力学框架和真空工程中的流导定义。文末列出这些专业来源,方便继续查阅。用户提供的 Pfeiffer 手册只作为真空工程背景和少量图源,本文的公式、判据和例算不依赖其章节顺序。
先把问题说清楚:压力本身不是流态标签。决定方程的,是平均自由程与几何尺度的比值(Knudsen 数)、惯性与黏性的比值(Reynolds 数)、流速与声速的比值(Mach 数),以及壁面究竟如何交换动量和能量。下面按这三个无量纲数组织内容,而不是按“常压、负压、真空”做目录。
1. 从压力读数走到流动模型
1.1 高压、负压和真空使用了不同的参照
普通压力表以当地大气为零点,读出的是表压;气体状态方程和平均自由程使用绝对压力。两者关系为:
例如,当外界压力为 101.325 kPa 时,表压 −80 kPa 对应 21.325 kPa 绝压。这个读数表示低于周围大气,气体仍然对容器壁施加正的压力。工程中所说的“负压系统”,在这个意义上也属于真空系统。
因此,高压、常压、负压与真空并不是四种彼此分离的物态。高压通常表示高于环境压力;常压是环境条件的近似;负压描述相对于环境的压差;真空则覆盖很宽的低于大气压的范围。它们适合描述工况,但不足以决定方程。
后文未注明“表压”的压力均为绝对压力。单位换算采用 、。标准大气压为 101325 Pa,当地大气压则会随海拔与天气变化。
1.2 压力降低,分子变少,平均自由程变长
对于处于热平衡的稀薄理想气体:
这里 是分子数密度, 是比气体常数。温度一定时,压力与数密度、质量密度成正比。
气体动理论中,平均自由程来自碰撞截面与数密度。以硬球模型为例:
是有效碰撞直径,不能与后文的管径混用。不同碰撞模型、分子势函数和平均自由程定义会给出略有差别的数值。工程估算可用低压空气的 常数,但在高压、低温或强非平衡条件下,应改用输运截面或状态方程计算。本文 20 °C 的数值只用于数量级演示:

图 1:真空工程资料中的数量级关系。原图为 273.15 K 氮气,并非本文表格采用的 293.15 K 空气;这里保留它作为背景图,不把图上的经验线当作气体动理论的推导。图源手册
压力降低并不直接意味着分子的热运动变慢。平均热速率 主要由温度和气体种类决定;20 °C 空气约为 463 m/s。管内平均流速 则是大量分子速度的定向平均,两者不能混用。
1.3 Kn、Re、Ma 分别回答什么问题
| 参数 | 定义 | 用来判断的问题 |
|---|---|---|
| Knudsen 数 | 相对于几何或梯度尺度,分子碰撞是否足够频繁? | |
| Reynolds 数 | 惯性与黏性作用的相对强弱如何?连续流是否可能转捩? | |
| Mach 数 | 流速相对于声速有多大?可压缩效应是否显著? |
三者需要结合使用。低雷诺数不保证连续介质成立;低 Kn 也不保证可以忽略压缩性。对于圆管,常取内径作为特征长度;平行板滑移算例中,本文明确取完整间隙 。若局部密度或温度变化很快,还要检查相应的梯度尺度,不能只看容器外形尺寸。
按上述空气模型计算,同一根内径 10 mm 的管道会得到:
| 绝对压力 | 平均自由程 | 按本文分区作初步判断 | |
|---|---|---|---|
| 1 MPa | 约 7.2 nm | 连续流,需另查真实气体偏差 | |
| 101.325 kPa | 约 71 nm | 连续流 | |
| 21.325 kPa | 约 0.34 μm | 仍为连续流 | |
| 100 Pa | 约 72 μm | 0.0072 | 接近无滑移连续流分区上界 |
| 1 Pa | 约 7.2 mm | 0.72 | 过渡流 |
| 0.01 Pa | 约 0.72 m | 72 | 自由分子流近似通常合适 |
最后两行不能继续套用普通无滑移管流公式。反过来,21.325 kPa 虽然对应 −80 kPa 表压,对这根管道来说却远未进入分子流。

图 2:本文按平均自由程近似绘制。1 μm 间隙在常压附近已经需要考虑滑移;10 mm 管道则仍是连续介质。高压端延长线仅用于数量级比较,未加入真实气体修正。
2. 连续介质:黏性流与 Navier–Stokes 方程
2.1 连续介质与局部平衡
在 时,可以找到这样的统计体积:它相对于装置足够小,内部又包含足够多的分子。于是密度、速度和温度能够写成随位置与时间变化的场。
分子不断跨越相邻流层,携带动量。宏观上,这种动量输运表现为黏性应力。对牛顿流体,剪切应力与速度梯度有关;“黏性流”也常被真空工程用来指与分子流相对的连续流区域,其中既可能有层流,也可能有湍流。
层流中的“流层”描述平均运动。即使宏观流线平顺,分子仍进行随机热运动并持续碰撞,不能把层流理解成每个分子都沿着平行直线前进。
2.2 可压缩 Navier–Stokes 方程组
对单组分、单相、局部平衡的牛顿流体,质量守恒为:
动量守恒为:
其中左侧是单位体积流体的惯性项,右侧依次是压力梯度力、黏性应力和体积力。一般的各向同性牛顿流体应力可写成:
为剪切黏度, 为体积黏度。采用 Stokes 假设时令 ;对涉及分子内能弛豫、声学衰减等问题的气体,不能把这个假设视为普遍精确关系。
当密度、黏度近似为常数且 时,动量方程才简化为常见形式:
NS 方程可以描述可压缩气体;“NS 方程只适用于不可压缩流”是把这个简化式当成了完整方程组。这个层次的理论应查阅标准流体力学教材,而不是只看真空工程网页:White 的 Fluid Mechanics、Anderson 的 Modern Compressible Flow 和 NASA 的方程说明分别覆盖不可压缩黏性流、可压缩流与工程形式。
从微观理论看,NS 方程并不是与 Boltzmann 方程平行的另一套自然定律。对单分子分布函数 做 Chapman–Enskog 小 Kn 展开,零阶项是局部 Maxwell 平衡分布,一阶非平衡项给出 Fourier 热流和 Newton 黏性应力;把这些通量代回守恒方程,才得到 Navier–Stokes–Fourier 方程。这个推导解释了两个工程事实:黏度和导热系数是碰撞模型的宏观结果;Kn 增大时高阶项不能再忽略,单纯修改壁面速度并不能修复整个体内分布函数。
2.3 为什么还需要能量方程与状态方程
对于温度变化显著的流动,还要计算内能。忽略化学反应和额外体热源时:
是单位质量内能, 是导热系数。压缩功、黏性耗散和热传导都会改变温度,温度又影响密度、黏度与声速。再配合状态方程 和相应物性关系,方程组才闭合。
等温微通道可以在充分换热的条件下省去显式温度求解;快速压缩、高速喷流和强温差流动通常不能这样处理。边界上还需要给定入口、出口和壁面的条件,单有 NS 方程并不能确定流量。
2.4 无滑移壁面与泊肃叶流
普通静止固壁常采用无穿透、无滑移条件,即壁面处流体的法向速度为零,切向速度等于壁面速度。对于低 Kn、等温、稳态、充分发展的圆管层流,在密度变化可以忽略时,有:
这里 为管长, 为内径。这是抛物线速度剖面和 Hagen–Poiseuille 关系。管径的四次方依赖建立在层流、无滑移等条件上,不能直接用于湍流或分子流。
如果仍满足连续、无滑移、局部低马赫数的长管层流条件,但沿管密度变化已经不可忽略,等温理想气体积分后得到的是 流量:
这与恒密度体积流量公式不是同一个量。使用前还要沿管检查 Kn 和 Ma;出口附近一旦进入滑移或高速区域,不能仅因入口符合条件就把公式用到底。
3. 高压流态:层流、湍流与可压缩流分别判断
3.1 高压增加密度,不直接规定流态
在温度不变、理想气体近似成立时,提高压力会增加密度、缩短平均自由程。对毫米至厘米级通道,这通常让连续介质近似更充分。
同时,在流速与管径相同、黏度近似不变的比较下, 随密度增加。例如 20 °C、内径 10 mm、平均流速 1 m/s,取 ,可得:
| 绝对压力 | 理想气体密度估算 | Reynolds 数 |
|---|---|---|
| 20 kPa | 0.238 kg/m³ | 约 131 |
| 101.325 kPa | 1.204 kg/m³ | 约 665 |
| 1 MPa | 11.88 kg/m³ | 约 6566 |
对常见光滑圆管,约 2300 与 4000 可作为层流、转捩区和湍流的工程参考;入口扰动、粗糙度和几何形状都会影响转捩。表中是相同流速的对照,不能把“升压使 Re 增大”推广到所有控制条件:若保持同一圆管中的质量流量不变,则 ,密度项已经消去。

图 3:本文理想气体比较模型,、,固定黏度。圆管转捩参考区不适用于所有几何;高压工程计算仍需核对实际物性。

图 4:根据 Kogan、Cercignani 和 Bird 的模型层次绘制的工程选择图。Kn 轴决定连续介质近似能否成立,Ma 轴决定能否把密度变化和能量方程省略;两条轴互相独立。色带边界不是严格相变线,最终仍要看目标量的误差要求。
3.2 湍流仍然属于连续介质问题
湍流并不表示 NS 方程失效。困难在于速度与压力存在宽范围的时空波动,直接解析全部尺度的计算代价很高。工程中常采用 RANS 或 LES,其中需要额外处理未解析尺度产生的应力。
以 RANS 为例,平均方程会出现 Reynolds 应力 ,需要湍流闭合模型。把物性中的分子黏度随意增大,并不能替代这些模型。NASA Wind-US 的模型说明可用于了解常用闭合方法。
3.3 高压不一定高速,常压入口也可能阻塞
低速储气罐内部可以近似静止;气体经小孔流入真空腔体时,却可能出现很大的速度和密度变化。判断时需要同时看 Ma 和沿程压力、温度变化。 常用于初步筛查弱压缩效应,但对于具有较大压比的长管,仍应检查密度变化。
对定比热理想气体、绝热等熵的收缩喷嘴,固定上游总压 、总温 和喉部面积 ,临界压比为:
取空气 ,得到约 0.528。背压低于临界值后,喉部达到 ,理想阻塞质量流量为:

图 5:依据 NASA 等熵关系与质量流量关系绘制,纵轴用阻塞流量归一化。实际孔口还涉及流量系数、边界层与局部稀薄效应。
若上游是接近静止的标准大气,理想临界背压约为 53.5 kPa 绝压。这说明向负压腔体进气时,即使上游没有高压气瓶,也可能发生阻塞。阻塞表示固定上游条件下继续降低背压,质量流量不再增加;它不表示气体停止流动,也不限制喷嘴下游膨胀区的速度一定低于声速。
3.4 更高压力下要核对真实气体
高压气体可以仍是连续介质,同时明显偏离理想气体。常用压缩因子表示为:
是状态的函数。不能只修正密度,却继续默认黏度、比热、声速和导热系数都与低压相同;这些物性应按气体、压力与温度查询。NIST REFPROP提供相应的状态方程与输运物性模型。
是否液化还取决于温度和相平衡。例如氮的临界温度约为 126.2 K,远低于室温;在室温下单靠等温加压,不会跨越气液共存线形成通常意义的液化。二氧化碳的临界点则约为 304.1 K、7.38 MPa,室温压缩时需要特别检查相区。相关数值见 NIST 的氮气和二氧化碳数据。
4. Maxwell 滑移:体内还能用 NS,壁面条件先要改变
Maxwell 的贡献不是给出一个“真空专用公式”,而是指出了连续介质解与分子—壁面作用之间的边界层问题。现代稀薄气体理论通常把它放在 Chapman–Enskog 展开和 Knudsen 层匹配的语境中:外部区域仍可用 NS,壁面附近的非平衡效应则通过滑移、温度跳跃和热蠕流边界条件反馈回来。Cercignani 的 Rarefied Gas Dynamics 和 Sharipov 的综述对这些系数的推导、气体—表面模型及实验差异有更完整的讨论。
4.1 Knudsen 层出现在哪里
降压或缩小通道后,分子从壁面反射出来,可能尚未来得及经过足够多的分子间碰撞就到达通道另一侧。壁面附近约若干平均自由程厚度内,分布函数偏离局部平衡,这一区域称为 Knudsen 层。
滑移流处理中,通常不直接用 NS 方程解析这层内部的非平衡结构,而是求解外部连续区域,并把它外推到几何壁面,以滑移边界描述壁面效应。这里的“壁面气体速度”因此是连续场的外推值,不是某个分子的瞬时速度。COMSOL 的滑移流说明区分了这两层含义。
4.2 Maxwell 气体—壁面模型与动量适应系数
Maxwell 模型把反射分为镜面与漫反射两部分。镜面反射保留相对于壁面的切向动量;理想漫反射则按壁面状态重新分布出射速度。切向动量适应系数 TMAC,本文记为 ,描述入射分子与壁面交换切向动量的程度。

图 6:本文绘制的壁面反射示意。只有在这种镜面—完全漫反射混合模型中,TMAC 才可直接对应漫反射比例;真实表面的适应行为还受气体种类、温度、粗糙度与污染影响。右图的箭头用于示意出射方向,不是等概率粒子统计。
当 时,切向动量充分适应; 较小时,壁面对定向运动的约束较弱,滑移通常更明显。即使完全漫反射,有限 Kn 下仍可能出现宏观滑移,不能把 等同于无滑移。
4.3 一阶 Maxwell 滑移条件
对于静止、平直、不透气壁面,等温且没有沿壁温度梯度时,采用一种常见的一阶 Maxwell 写法:
这里 指向气体内部, 是滑移长度;法向仍满足无穿透。速度梯度沿这个法向定义,换成外法向时需要同步改变符号。
公式中的系数必须与平均自由程定义成套使用。若文献采用不同的黏度型平均自由程,或对 Knudsen 层进行更精细匹配,滑移系数可能另带修正因子。本文图 6 采用的就是上式,不把它当作任意软件模型的精确参数。COMSOL 的理论说明特别提醒了这一换算问题。
形式上,当 趋近零,上式会给出越来越大的滑移长度。这不意味着它能可靠描述任意稀薄程度:一阶滑移建立在小 Kn 渐近近似上,必须先满足其适用条件。
4.4 用平行板算出滑移带来的流量变化
设两块静止平板间距为 ,坐标 。气体等温,流动充分发展,选取沿程压降很小的局部片段,使密度与黏度近似不变。令 ,切向动量方程简化为:
两侧使用相同滑移长度 ,积分得:
单位宽度体积流量为:

图 7:本文解析计算。固定同一压强梯度、间隙与黏度,取 。 时流量增加 12%; 时增加 18%。各曲线共用无滑移中心速度作为归一化基准,因此能直接比较流速。
滑移后,外推到壁面的切向速度不再为零;在这个局部模型中,剖面的曲率并没有改变,而是在抛物线基础上增加一个速度偏置。若比较的是固定流量工况,变化应表现为所需压降降低。对于大压比微通道,还要沿程处理 、 与滑移长度的变化,不能直接套用这张局部剖面图。
4.5 一阶和二阶滑移不是两个“真空等级”
文献中常见的一阶边界条件可写成 ;当 Kn 更大时,有人会在拟合中加入 项。但二阶项是 Chapman–Enskog 渐近展开和气体—壁面散射核共同决定的系数,不是把一阶公式里的 6 随意换成更大的经验常数。Cercignani–Lampis 边界、漫反射 Maxwell 边界和真实表面吸附会给出不同的系数;更换平均自由程定义,数值也会随之变化。

图 8:左图是 Maxwell 一阶模型的 与 TMAC 关系;右图只画出一阶、二阶多项式的增长趋势,不是线性化 Boltzmann 方程的精确解。进入 后,继续增加多项式阶数不等于得到了可靠的过渡流模型,应改用 BGK、线性化 Boltzmann 或 DSMC,并用实验/基准解校核。
4.6 有温差时还要处理热滑移与温度跳跃
前面的边界只保留黏性滑移。壁面沿切向存在温度梯度时,还可能产生热蠕流;法向有热流时,外推气体温度与壁温之间会出现温度跳跃。这需要引入热适应系数及相应的温度边界条件。
切向动量充分适应与能量充分适应不是同一个条件。对带加热器的微通道、真空计热丝或非等温狭缝,直接令气体温度等于壁温,可能抹去要研究的物理效应。系数与平均自由程的选取同样需要一致,可结合 COMSOL 的壁面参数说明检查。
5. 过渡流:不能把滑移修正无限延伸
5.1 两套分区为何看起来不一样

图 9:真空工程资料中的流态示意。不同教材对过渡区边界的取值并不完全一致;这里的图只用来建立直觉,实际模型仍应按局部 Kn、边界条件和目标量验证。
本文讨论数值建模时,采用以下较细的常用分区:
| Kn 范围 | 常用名称 | 典型模型起点 |
|---|---|---|
| 连续流 | NS 方程,通常先考虑无滑移壁面 | |
| 滑移流 | NS 方程加速度滑移、必要时加温度跳跃 | |
| 过渡流 | 含分子间碰撞的动理学模型 | |
| 自由分子流 | 忽略分子间碰撞,处理飞行与壁面作用 |
这些是模型选择的参考界限,数值相等处没有物理突变。手册采用较粗的真空工程分区,不能把原图中的 直接当作“所有问题都可忽略碰撞”的精度保证。上表对应 COMSOL 的流动区域划分。

图 10:压力和通道尺寸共同决定流态的工程示意。它不是普适的相图;气体种类、温度和特征长度改变时,边界会移动。
5.2 过渡区需要保留分布函数和碰撞项
当 Kn 继续增大,非平衡效应不再局限于一层很薄的近壁区域。仅修正壁面速度,无法补偿 NS 本构关系与局部平衡近似的偏差。
气体动理学使用分布函数 描述位置和分子速度空间中的分子分布。无外力时,Boltzmann 方程为:
右侧 是分子间碰撞项。过渡区内,碰撞还不能忽略,分布又可能明显偏离局部 Maxwell 分布,所以既不能直接用无滑移 NS,也不能直接删掉碰撞项。
BGK 模型以向局部平衡分布弛豫的形式近似碰撞项:
实际计算可采用相应的离散速度方法,或在适当条件下采用 DSMC。不同实现对流速、温差、气体种类和统计误差有各自限制。例如 COMSOL 的过渡流接口采用 Boltzmann–BGK 模型,并明确限制了其热流动能力;不能只按模块名称判断它适合任何真空工况。
5.3 仿真时,先选方程再选软件
仿真软件不是流态模型。连续流 CFD 通常用有限体积或有限元离散 NS 方程;低速等温问题可以使用压力基求解器,高速可压缩问题则需要密度基或能量一致的压力—速度耦合。网格应解析入口发展段、激波、孔口边缘和 Knudsen 层外部梯度;把壁面网格无限加密,并不会自动得到正确的滑移系数。
进入滑移区时,常见做法是 NS 加 Maxwell 速度滑移和温度跳跃边界。Cercignani–Lampis 则是动理学求解器中的气体—表面散射核;若将其用于连续模型,需要先推导一致的滑移与跳跃系数。此时应做网格无关性、时间步长无关性和 TMAC 敏感性分析,至少报告 、气体温度、壁面材料及平均自由程定义。若压力沿程变化很大,滑移长度 也随位置变化,不能在整个壁面上填一个常数。
过渡流可用离散速度法(DVM)、BGK/Shakhov 模型或线性化 Boltzmann 求解器。速度空间截断、离散速度数目和碰撞松弛时间会影响热流与壁面通量;只验证宏观压力降,不足以证明温度跳跃或壁面剪切力可靠。
DSMC 则直接推进代表性分子的位置和速度,并在每个碰撞单元中随机配对碰撞。Bird 给出的基本约束是:单元尺寸应小于局部平均自由程,时间步长应小于局部平均碰撞时间,每个单元需要足够多的模拟分子以降低统计噪声。DSMC 的计算量随密度降低并不会简单消失,因为为了得到稳定的平均量,仍需足够长的采样时间;在近连续流区域直接使用 DSMC 往往代价很高。
连续 CFD、DVM/BGK 与 DSMC 可以做区域耦合,但接口处需要一致地传递质量、动量和能量,而不是只拼接一个压力。Garcia 等人的 AMAR 方法把 DSMC 区域嵌入可压缩 NS 求解器,是这种连续—粒子混合计算的具体实例。滑移模型可对照 Hadjiconstantinou 的验证研究,同时检查其低速、线性化条件与 Knudsen 层处理,不能把论文中的适用范围直接搬到大压比工况。工程上应先使用平面 Poiseuille 流、圆管流导或激波结构等匹配工况的基准问题验证求解器。
6. 分子流:流量由入射通量和穿透概率决定
6.1 从分子间输运转向分子—壁面输运
当平均自由程远大于通道尺寸,分子在飞到壁面之前很少与其他分子碰撞。此时主要计算分子的自由飞行、撞壁、反射、吸附和再次释放。
删去碰撞项后,在无外力条件下:
这不表示没有流量或没有壁面动量交换。它表示不能再靠普通牛顿黏性应力和无滑移速度场来闭合输运问题。CERN 的 Molflow+ 教程介绍了用于分子流计算的测试粒子蒙特卡罗方法:跟踪独立粒子的路径,统计到达各表面的通量。
6.2 为什么小孔流导是
对两侧温度相同、各自近似为各向同性热平衡分布的储气空间,单位面积单向入射通量为:
因而薄孔两侧存在双向分子流。两者相减,并用 换算,得到净 流量:
20 °C 空气的薄孔流导约为 ,其中 以 cm² 计。这个结果要求孔足够薄、两侧均满足分子流条件,且没有额外吸附或遮挡。若高压气源通过孔口进入真空,不能因下游真空就把整个孔口按分子流处理。推导可对照 CERN 的 Vacuum I。
这里的 用于所假设的储气空间;对任意强非平衡、方向性很强的分布,压力可能需要用动量通量张量描述,不能总把一个标量压力等同于完整状态。
6.3 长管流导为何与管径三次方有关
管道有长度后,进入入口的分子未必从另一端出去。对温度均匀、圆截面、漫反射长管,穿透概率近似为:
将它乘以入口薄孔流导,得到 20 °C 空气的常用长管近似:
分子流长管的流导与平均压力近似无关,对同一几何随 缩放。弯头、短管、挡板或不同壁面反射条件,应重新求穿透概率,不能只把管长代进去。

图 11:真空工程资料中的流导示意。分子流端近似与压力无关,黏性流端则随压力变化;中间区域不能把任一端的渐近公式直接外推。这不是所有管道共用的一条定量曲线。
6.4 细管可以把大泵的有效抽速限制得很低
设一根直管内径 1 cm、长度 100 cm,气体为 20 °C 空气,全管满足分子流条件,暂不计入口附加阻力和管壁放气:
即使泵口抽速为 100 L/s,腔体处有效抽速也只有:
若腔体稳定气体负荷为 ,忽略泵的本底压力,则腔压约为:
此处换算了 。用所得腔压回算,;管内压力向泵端进一步降低,因而分子流假设在这个算例中自洽。若增加进气量使腔压升高,则必须重新检查,不能继续默认同一流导模型。有效抽速的串联关系也可参考 Leybold 流导计算说明。
7. 一套装置从常压抽到高真空,会发生什么
7.1 同一条气路可以同时存在不同区域
抽气初期,普通尺寸的管路通常处于连续流区域;流量大时可能出现湍流、压缩性和局部阻塞。随着压力下降,近壁滑移逐渐重要,再往下便进入过渡流和分子流。
对前面的 10 mm 空气管道,本文分区对应的大致压力为: 时约 72 Pa, 时约 7.2 Pa, 时约 0.072 Pa。这些数值由温度、气体和管径共同决定,不是通用的真空等级边界。
沿程压降还会使入口与出口处于不同区域。一只真空腔体连接高压进气口时,上游可以是连续可压缩流,下游逐渐成为稀薄流;不能给整套模型只贴一个“真空流动”标签。
7.2 降压不等于黏度按比例消失
在适用的稀薄、连续介质范围内,同温气体的动力黏度 对压力通常不敏感。分子数变少的同时,平均自由程增加,两者对动量输运的影响大致抵消。运动黏度 则会随密度降低而增大。
进入稀薄区后,气体跨越有限间隙的导热能力会下降,但这不能简单归结为把连续介质导热系数按压力同比缩小。壁面温度跳跃、能量适应程度和间隙尺寸都参与其中。真空降低气体导热与对流后,固体支撑导热和热辐射仍然存在;这也是 Pirani 真空计利用热损失随压力变化测量真空的基础。
7.3 高真空中的气体来源会改变
抽气后期,腔内气体不一定仍保持空气的原始比例:表面释放的水、金属内部扩散出的氢、工艺气体和泄漏都可能成为主要负荷。这是表面科学、真空材料学和残余气体分析的问题,不能仅靠流动方程解释。

图 12:真空工程资料中的典型残余气体谱示意。质量数 28 可能同时包含氮和一氧化碳;单个峰不能独立证明某一种泄漏,需要结合其他峰、裂解规律及仪器响应判断。
对固定体积、近似等温的腔体,采用集中参数模型可写为:
只有在有效抽速恒定、气体负荷可以忽略等条件下,才得到简单的指数降压。实际降压曲线出现拖尾时,需要同时检查管路流导、泵的抽速曲线、壁面放气和泄漏。第一章的这些内容,把理想的流动模型与实际设备连接了起来。
8. 计算前如何选择方程
| 要计算的工况 | 先检查什么 | 建模起点 |
|---|---|---|
| 高压储气与低速输送 | 相区、真实气体偏差、温升、Re | 连续介质 NS,配合合适状态方程和物性 |
| 大流量高压管路 | Re、粗糙度、入口发展段、密度变化 | 可压缩管流,按需要采用湍流模型 |
| 气体经孔口进入负压腔体 | 上下游绝压比、喉部 Ma、局部 Kn | 可压缩孔口或喷嘴模型,检查阻塞 |
| 常压微间隙或低压细通道 | 以真实间隙计算 Kn,检查壁面温差 | NS 加 Maxwell 滑移及必要的温度跳跃 |
| 过渡区通道 | 非平衡范围、碰撞模型、速度和温度条件 | 含碰撞的气体动理学方法 |
| 高真空管路与挡板 | 全通路 Kn、气体种类、壁面反射与吸附 | 分子流流导或独立粒子统计 |
建模时先把表压换为绝压,再用局部温度、气体组成和尺寸估算 Kn。连续流范围内继续检查 Re、Ma 与物性,滑移区核对壁面模型,过渡区和分子流则转向相应的动理学描述。压力读数提供了起点,模型的选择还取决于气体在装置里怎样交换动量与能量。
参考资料与图源
- White, F. M., Fluid Mechanics, 8th ed., McGraw-Hill, 2016。黏性应力、内流、边界层和管流的标准教材。
- Anderson, J. D., Modern Compressible Flow: With Historical Perspective, 3rd ed., McGraw-Hill, 2003。可压缩 Navier–Stokes、声速、等熵喷嘴和阻塞流。
- Maxwell, J. C., “On Stresses in Rarefied Gases Arising from Inequalities of Temperature”, Philosophical Transactions of the Royal Society A, 170 (1879), 231–256. 原始论文 DOI。气体—壁面动量交换与滑移思想的历史来源。
- Kogan, M. N., Rarefied Gas Dynamics, Plenum Press, 1969. Springer 书目。从 Boltzmann 方程到小、大 Kn 流动的系统论述。
- Cercignani, C., Rarefied Gas Dynamics: From Basic Concepts to Actual Calculations, Cambridge University Press, 2000;另见 Slow Rarefied Flows, Birkhäuser, 2006. Springer 书目。Knudsen 层、边界值问题与微尺度流动。
- Sharipov, F., “Rarefied gas dynamics and its applications to vacuum technology”, CERN Accelerator School: Vacuum in Accelerators, CERN-2007-003, 2007, pp. 1–14. CERN 记录与 DOI。滑移、温度跳跃、孔口和管道流导的工程综述。
- Sharipov, F. & Seleznev, V. D., “Data on Internal Rarefied Gas Flows”, Journal of Physical and Chemical Reference Data, 27(3), 1998, 657–706. DOI。覆盖从连续流到自由分子流的内流数据汇编。
- Bird, G. A., Molecular Gas Dynamics and the Direct Simulation of Gas Flows, Oxford University Press, 1994. Oxford Academic。分子碰撞、DSMC 和过渡流计算。
- NASA Glenn,Navier–Stokes Equation;Isentropic Flow Equations;Mass Flow Choking。工程化方程和喷嘴校核。
- NIST,REFPROP。高压真实气体状态方程与输运物性。
- Pfeiffer Vacuum,《真空技术——专业知识手册》第 2 册,第一章,第 9~20 页。仅作为真空工程背景和图 1、9~12 的图源;对应英文手册。
- Hadjiconstantinou, N. G., “The limits of Navier-Stokes theory and kinetic extensions for describing small-scale gaseous hydrodynamics”, Physics of Fluids, 18, 111301, 2006. DOI;作者公开稿。讨论 NS 适用边界、二阶滑移、Knudsen 层及低速 DSMC 的统计代价。
- Hadjiconstantinou, N. G., “Validation of a Second-Order Slip Model for Dilute Gas Flows”, Microscale Thermophysical Engineering, 9(2), 2005, 137–153. DOI。二阶滑移模型与动理学计算的验证;使用结果时需保留低 Reynolds 数和 Knudsen 层修正等条件。
- Bird, G. A., “Direct simulation of gas flows at the molecular level”, Communications in Applied Numerical Methods, 4 (1988), 165–172. DOI。DSMC 的分子碰撞、网格和时间步长思想。
- Garcia, A. L., Bell, J. B., Crutchfield, W. Y. & Alder, B. J., “Adaptive Mesh and Algorithm Refinement Using Direct Simulation Monte Carlo”, Journal of Computational Physics, 154(1), 1999, 134–155. DOI。在可压缩 NS 求解器中嵌入 DSMC 区域的混合仿真实例。
- COMSOL,The Transitional Flow Interface;Slip Flow Boundary Conditions。DVM/BGK 与滑移边界的工程实现说明。
图 2~8 为本文绘制的解析图或示意图;图 1、9~12 为真空工程资料裁图;参数及重绘方法记录在文章图片目录旁的 SOURCES.txt,对应脚本为工程中的 scripts/generate-gas-flow-figures.py。
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